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Technologie & Prozesse

Thermisches Verdampfen

Beim thermischen Verdampfen (PVD) wird mittels eines Elektronenstrahlverdampfers unter Hochvacuum Aufdampfmaterial erhitzt und auf die Substrate aufgebracht.

Thermisches Verdampfen
 

Ionenplattieren

Das Ionenplattieren ist eine vakuumbasierte und plasmagestützte Beschichtungstechnik, die zu den Verfahren der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) gehört.

Ionenplattieren
 

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